石墨粉可以作为碳源合成金刚石薄膜 - 青岛晨阳石墨公司

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石墨粉可以作为碳源合成金刚石薄膜

[发布日期:2013-09-30 10:48:39 浏览量:759 文章来源:青岛晨阳石墨有限公司

   作为耐磨硬质涂层,微电子学等领域的应用往往要求金刚石选择性生长;要求最大限度以便获得连续、均匀地提高形核密度,均致密的金刚石薄膜。因此,为了将低压化学气相沉积金如何控制和增强金刚石的形核是至关重要的。刚石薄膜开发应用于现代科学技术各领域,:大衬底表面状态和性质对金刚石形核和长大起决定性作用,大量的研究结果表明,至今已发表了多这些方法衬底表面预处理以提高形核密度的方法,可以划分为表面损伤和非表面损伤两大非表面损伤包括预镀碳。袭面损伤包括机械抛光和化学腐蚀。这样具有成本低的优点,基碳管等中间层预涂石墨粉具有方法简单。